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[ Principio del processo al plasma ]
La camera viene evacuata per mezzo di una pompa, a circa 0,1 mbar di pressione viene introdotto il gas di processo e acceso il plasma, in modo tale che il pezzo da trattare sia in contatto con il plasma. Il gas di processo viene continuamente immesso e quello usato viene pompato via. Dopo il trattamento, che solitamente dura tra 1 e 30 minuti, la camera viene aerata e il pezzo trattato viene estratto.
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