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[ Ossido di silicio ]

 

SiO2, è il composto più diffuso nella crosta terrestre, duro e resistente al calore, ottimo isolante. Abbondante impiego nella microelettronica come rivestimento isolante, in genere prodotto attraverso ossidazione di silicio puro. Può essere sottoposto a etching in plasma per mezzo di gas contenenti alogeni (soprattutto con fluoro) dove il silicio viene nuovamente portato allo scoperto.

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