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[ Sputtering ]
Definizione di pulizia al plasma, durante la quale ioni molto energetici del plasma incontrano la superficie del materiale e conseguentemente rimuovono atomi della superficie. Nei puri processi di sputtering viene spesso usato l'argon come gas di processo. La pulizia al plasma per mezzo di sputtering viene chiamata anche microsabbiatura. Da un altro lato lo sputtering funge da tecnica di rivestimenti sottili come metodo di produzione di specifici composti in fasi di vapore, che vengono prodotti bombardando un campione del materiale desiderato (il cosiddetto "Target").
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