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[ Pompa turbomolecolare ]
La pompa turbomolecolare, chiamata anche turbopompa, è una pompa per pressioni residue estremamente basse (fino a 10-10 mbar), composta da una serie di statori e rotori disposti uno dietro l'altro simili ad un reattore. Il numero di giri delle pompe turbomolecolari si aggira su alcune migliaia di U/min. Poiché la capacità di aspirazione delle turbopompe diminuisce all’aumentare della pressione, essere possono essere azionate solo in collegamento con una pompa di rilancio. Negli impianti a plasma vengono utilizzate le pompe turbomolecolari in caso di pressione molto bassa, che altri tipi di pompe (rotativa, roots) non riescono a supportare.
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