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[ Pompa a lobi ]
Le pompe a lobi (dette anche pompe Loots) nella tecnica del plasma vengono spesso utilizzate insieme alle pompe rotative, poiché è vero che esse non hanno una pressione finale molto bassa, ma hanno una grande potenza di flusso. Per questo motivo vengono spesso utilizzate in quei processi che si svolgono in impianti per grandi volumi oppure per substrati ad alta degasificazione.
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