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[ TEM ]
(Microscopio elettronico a trasmissione). Già da molti anni viene utilizzato questo metodo di microscopia degli elettroni il quale viene applicato per la riproduzione della struttura nei sistemi di rivestimento sottile. A differenza del microscopio elettronico a scansione, il materiale campione viene irradiato con elettroni altamente energetici. Per questo è necessario assottigliare il materiale fino a ottenimento di uno spessore minimo. Il flusso di elettroni subisce, attraversando il sottile strato, perdita di intensità per la dispersione degli elettroni nel nucleo degli atomi del materiale campione. Vengono quindi deviati di piccoli angoli dal percorso diritto. Per la riproduzione vengono utilizzati solo elettroni che attraversano il campione senza dispersione. Il contrasto della riproduzione viene originato dall’intensità delle perdite di dispersione del flusso di elettroni. Tali perdite di dispersione dipendono, tra l’altro, anche dallo spessore e dai difetti cristallini del campione.
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