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[ Rivestimento CVD ]

 

Durante i processi CVD viene immessa una miscela di gas nella zona di reazione, la quale per mezzo di una reazione chimica all’aumento della temperatura forma la sostanza e si deposita per l’effetto catalitico della superficie del substrato sul materiale base. Esistono diverse varianti di questo processo, tra le quali i processi di CVD termici e l’attivazione in plasma CVD (PA-CVD). I tipi di reazione più importanti per i processi di CVD termici sono la sintesi chimica, la pirolisi e disproporzione. Nel processo PA-CVD le reazioni chimiche vengono attivate in plasma. Oltre alla ednominazione PACVD esiste nella letteratura inglese anche il nome PE-CVD (PECVD, plasma enhanced CVD).

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