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[ GHz - impianti a plasma ]
Impianti a plasma, che vengono azionati con generatori di plasma a una frequenza di alcuni gigahertz (in genere 2,45 GHz). Questa corrisponde alla banda di frequenza delle microonde. Per questo un impianto di questo tipo viene anche chiamato impianto a plasma MW, per distinguerli dagli impianti RF e e LF oppure con generatori, che lavorano a una frequenza nell’ordine dei MHz oppure dei kHz.
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