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SISTEMI DI PLASMA - DOTAZIONI DI SERIE - PLASMA SISTEMI TETRA 100

[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]



I sistemi di plasmaTETRA 100 possono essere combinati in un sistema modulare in diverse varianti. Quello che segue è una panoramica delle opzioni più popolari in connessione con i sistemi di plasma il Tetra 100.

Chiamateci, vi consigliamo. Tel: +49 (0) 7458 - 999 31-0

Brochure TETRA 100 (PDF)


Attrezzatura di base

- I casi variano a seconda dei componenti / opzioni
- Volume della camera: a seconda della versione 80 - 100 litri
- Alimentazione: 230 V per il piano, 400 V / 3 fasi Freestanding

Di erogazione del gas

- Valvole ad ago
- Mass-Flow-Controller (MFCs)

Camere a vuoto

- Acciaio inossidabile
    rotonda con soffitto
    (ca. Ø 400 mm, L 625 mm) o
    rettangolo, porta a battente
    (ca. L 400 mm x A 400mm x P 625 mm)


Caricamento

  Portacampioni (Opzione: Raffreddato ad acqua),
  Boot di vetro al quarzo, Polvere tamburo rotante,
  Tamburo rotativo per pezzi sfusi, Lamiera di alluminio,
  Lamiera d'acciaio inossidabile, Vetro borosilicato, Quarzo

Elettrodi

- Singola- o Elettrodo multistadio
- RIE

Controllo

- Comando PCCE (Microsoft Windows CE)
- Comando PC (Microsoft Windows XPE)

Manometri

- Pirani
- Baratron

Timer

- Digital

Generatori

Frequenze:   40 kHz: Potenza 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
                13,56 MHz: Potenza 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
                  2,45 GHz: Potenza 0 - 1200 W

Tutti i generatori sono continuamente regolabile da 0 - 100%

Pompe a vuoto

- in diversi formati da produttori diversi
  (Come richiesto con filtro a carboni attivi)


 

Ecco alcuni esempi delle nostre TETRA 100 alloggiamento



TETRA 100 esempio variante A, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica
 TETRA 100 esempio variante A


TETRA 100 esempio variante B, impianto di piccole dimensioni Sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching, ottica
 TETRA 100 esempio variante B



Non esitate a contattarci per eventuali consulenze tecniche su questo impianto.

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