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Caratteristiche tecniche:
Plasma cleaner Femto
Quadro elettrico:
largh. 345 mm, alt. 220 mm, prof. 420 mm
Camera:
Ø 100 mm, lungh. 270 mm
Volume della camera:
ca. 2 Litri
Alimentazione gas:
1 canale gas con valvola a spillo
Generatore:
40kHz/100W, variabile
Pompa per vuoto:
Leybold, tipo S1.5 (1.5m³/h)
Sistema di caricamento:
Vassoio 1 pz.
Sistema di controllo:
manuale, tempo di processo regolato da temporizzatore
by timer
Optional / accessori |
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Plasma sistemi FEMTO: impianto di piccole dimensioni: sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching per piccole serie.
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