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[ Argon (Ar) ]
Gas nobile molto diffuso in natura (quasi l’1 % dell’atmosfera), che grazie alla sua completa inerzia chimica viene spesso impiegato come gas di protezione. Nella pulizia e attivazione al plasma viene spesso usato come gas di processo, non può produrre nessuna specifica reazione chimica con il substrato ma è adatto alla rimozione di contaminazioni (->effetti di microsabbiatura) e alla produzione di radicali liberi sui polimeri organici.
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