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[ Reattore Downstream ]
Reattore al plasma, impiegato soprattutto in processo di pulizia e etching, nel quale plasma e sostrato vengono separati spazialmente. I radicali formati nel plasma e gli ioni vengono condotti per mezzo di una veloce corrente del gas di processo sulla superficie da trattare, la quale si trova all'esterno della zona di scarica del gas.
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