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[ Sistema di caricamento ]
Per il trattamento in un impianto al plasma, i pezzi di piccole dimensioni (es. CI) possono essere inseriti in supporti adatti, in genere a più ripiani, ovvero in sistemi di caricamento. Questo permette uno sfruttamento ottimale del volume della camera attraverso il posizionamento contemporaneo di tutti i pezzi da trattare. Quando avviene un contatto indesiderato tra i pezzi durante il processo oppure quando i pezzi sono meccanicamente molto sensibili, l’impiego dei sistemi di caricamento è da preferirsi al metodo del tamburo rotativo. Anche per il supporto di Lead Frame vengono utilizzati specifici sistemi di caricamento.
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