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[ Solfuro esafluoruro ]
Il solfuro esafluoruro (SF6) a normali condizioni è un gas assolutamente inerte, tuttavia, in qualità di gas di processo in plasma, forma atomi di fluoro altamente reattivi e radicali fluoruro di zolfo, quindi rappresenta uno dei gas di processo in plasma più aggressivi (vedi anche Tetrafluorometano )
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