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[ Effetto etching ]
Per effetto etching (etching chimico e fisico) il fenomeno di rimozione della superficie del pezzo trattato durante la pulizia al plasma . Le impurità e contaminazioni sulla superficie vengono così eliminate. L’etching al plasma ha quindi efficacia solo sullo strato più esterno (alcune posizioni di atomi). A trattamenti di durata più lunga è possibile rimuovere gradualmente un parte maggiore dello strato esterno. I plasmi possono in molti casi sostituire il wet etching, gli impianti a plasma possono essere quindi utilizzati per l’etching. In applicazioni con una maschera etching, l’etching può portare anche a una (micro)strutturazione delle superfici.
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