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Caratteristiche tecniche:
Plasma etcher Tetra-100-LF
Quadro elettrico:
W 600 mm, H 2.200 mm, D 800 mm
Camera:
W 400 mm, D 625 mm, H 625 mm
Volume della camera:
approx. 100 litres
Alimentazione gas:
2 canali gas con valvola a spillo
Generatore:
40kHz/0-2500 W
(Optional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
Pompa per vuoto:
Leybold, Tipo D40B (40 m³/h)
Sistema di caricamento:
up to 10 trays
(Optional: tamburo rotativo)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows)
Optional / accessori
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Plasma sistemi TETRA-100-LF per esecuzione: pulizia, attivazione, etching
Sistemi TETRA con sei vassoi e tamburo rotativo |