diener electronic  | TECNICA DI TRATTAMENTO SUPERFICIALE AL PLASMA Plasma Plasma systems Surface-Technology
 
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PLASMA OBERFLÄCHENTECHNIK · REINIGEN · AKTIVIEREN · ÄTZEN · BESCHICHTEN

[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]



Costruiamo impianti a plasma su misura per specifiche esigenze. Gli impianti vengono concepiti in base ai seguenti punti:
  • stima della portata del materiale
  • misura dei pezzi da trattare

Prospekt IMPIANTI SPECIALI (PDF 1284 KB)


IMPIANTI SPECIALI :


Sistema plasma speciale Tetra-15-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 1.700 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
L 360 mm, A 150 mm, P 260 mm
Volume della camera
ca. 15 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
2 pezzi (40kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema al plasma TETRA 15 è stato progettato per effettuare lo sputtering (tecnologia coating in vuoto) e per il processo di pulizia di superfici ad elevata purezza

Il sistema al plasma TETRA 15 è stato progettato per effettuare lo sputtering (tecnologia coating in vuoto) e per il processo di pulizia di superfici ad elevata purezza


Sistema plasma speciale Tetra-30-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 800 mm, A 600 mm, P 500 mm
Vuoto della camera:
L 240 mm, A 150 mm, P 240 mm
Volume della camera
ca. 30 litri
Alimentazione gas:
1 gas canale con MFCs
Generatore:
1 pezzi (40kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale
Automatizzazione:
Il sistema può essere integrato in una linea di produzione.

Un sistema per trattamenti con tempo cicli ridotti, può essere integrato in una  linea di produzione già esistente. Un sistema per trattamenti con tempo cicli ridotti,  totalmente automatizzato, elimina qualsiasi errore introdotto da operatore.

Un sistema per trattamenti con tempo cicli ridotti, può essere integrato in una linea di produzione già esistente. Un sistema per trattamenti con tempo cicli ridotti, totalmente automatizzato, elimina qualsiasi errore introdotto da operatore.



Sistema plasma speciale Tetra-100-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 2.000 mm, A 2.200 mm, P 2.000 mm
Vuoto della camera:
L 700 mm, A 200 mm, P 700 mm
Volume della camera
ca. 100 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
1 pezzi (40kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale
Automatizzazione:
Il sistema ha una porta a cassetto.

Il sistema da produzione Tetra -100, con il suo reattore da 100 litri di volume, con controllo basato su PC e portello di carico completamente automatizzato, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng)

Il sistema da produzione Tetra -100, con il suo reattore da 100 litri di volume, con controllo basato su PC e portello di carico completamente automatizzato, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng)



Sistema plasma speciale Tetra-120-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.150 mm, P 1.000 mm
Vuoto della camera:
L 1.200 mm, A 150 mm, P 1.700 mm
Volume della camera
ca. 120 litri
Alimentazione gas:
4 canali gas con MFCs
Generatore:
2 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale
Automatizzazione:
Il sistema ha una porta automatizzata.

L'impianto di produzione Tetra-120 con i suoi 120 litri di camera volume, sistema di controllo PC e porte automatiche si presta ad applicazione in particolare nella produzione in serie (pulizia, etching e attivazione). Alcune dati tecnici dell'impianto.

L'impianto di produzione Tetra-120 con i suoi 120 litri di camera volume, sistema di controllo PC e porte automatiche si presta ad applicazione in particolare nella produzione in serie (pulizia, etching e attivazione). Alcune dati tecnici dell'impianto.



Sistema plasma speciale Tetra-140-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.100 mm, P 650 mm
Vuoto della camera:
L 1.200 mm, A 700 mm, P 1.500 mm
Volume della camera
ca. 140 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs,
Generatore:
1 pezzi (40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra -140-LF-PC, con il suo reattore da 140 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra -140-LF-PC, con il suo reattore da 140 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-140-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.000 mm, A 1.800 mm, P 1.000 mm
Vuoto della camera:
L 1.000 mm, A 100 mm, P 1.400 mm
Volume della camera
ca. 140 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs,
Monomero liquido dosaggio
di plasma polimerizzazione
Generatore:
1 pezzi (40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra -140-LF-PC, con il suo reattore da 140 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e polimerizzazione al plasma).

Il sistema da produzione Tetra -140-LF-PC, con il suo reattore da 140 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e polimerizzazione al plasma).



Sistema plasma speciale Tetra-150-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.000 mm, A 2.100 mm, P 1.000 mm
Vuoto della camera:
L 400 mm, A 600 mm, P 625 mm
Volume della camera
ca. 150 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
1 pezzi (40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale
Automatizzazione:
Ruolo a ruolo con 400 mm di larghezza e 300 mm di diametro.

Il sistema da produzione Tetra -150-LF-PC, con il suo reattore da 150 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione tessile.





Il sistema da produzione Tetra -150-LF-PC, con il suo reattore da 150 litri di volume, con controllo basato su PC e con sistema Rullo a Rullo, viene utilizzato per la produzione tessile.

Il sistema da produzione Tetra -150-LF-PC, con il suo reattore da 150 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione tessile.



Sistema plasma speciale Tetra-240-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 1.700 mm, P 3.200 mm
Vuoto della camera:
L 305 mm, A 300 mm, P 2.600 mm
Volume della camera
ca. 240 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
1 pezzi (40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra -240-LF-PC, con il suo reattore da 240 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra -240-LF-PC, con il suo reattore da 240 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-260-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 2.500 mm, A 2.200 mm, P 1.000 mm
Vuoto della camera:
L 650 mm, A 500 mm, P 800 mm
Volume della camera
ca. 260 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
10 pezzi (40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra -260-LF-PC, con il suo reattore da 260 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra -260-LF-PC, con il suo reattore da 260 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-375-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.100 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
L 600 mm, A 360 mm, P 1.900 mm
Volume della camera
ca. 375 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
2 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-375-LF-PC, con il suo reattore da 375 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-375-LF-PC, con il suo reattore da 375 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-400-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.100 mm, P 650 mm
Vuoto della camera:
L 915 mm, A 750 mm, P 725 mm
Volume della camera
ca. 400 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
2 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale
Automatizzazione:
Il sistema ha una porta a cassetto automatizzata.

Il sistema da produzione Tetra-400-LF-PC, con il suo reattore da 400 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-400-LF-PC, con il suo reattore da 400 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-420-LF-PC-PCB


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.600 mm, A 2.100 mm, P 1.200 mm
Vuoto della camera:
L 750 mm, A 800 mm, P 750 mm
Volume della camera
ca. 420 litri
Alimentazione gas:
4 canali gas con MFCs
Generatore:
4 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-420-LF-PC-PCB, con il suo reattore da 420 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-420-LF-PC-PCB, con il suo reattore da 420 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-500-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.100 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
L 1.500 mm, A 1.700 mm, P 200 mm
Volume della camera
ca. 500 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
2 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di caricamento:
2 sistemi da rotolo a rotolo
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale







Il sistema da produzione Tetra -500, con il suo reattore da 500 litri di volume, con sistema Rullo a Rullo e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione ed etching ad esempio di bobine di tessuti, fogli di plastica e di altra natura ecc.). Il sistema da produzione Tetra -500, con il suo reattore da 500 litri di volume, con sistema Rullo a Rullo e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione ed etching ad esempio di bobine di tessuti, fogli di plastica e di altra natura ecc.).

Il sistema da produzione Tetra -500, con il suo reattore da 500 litri di volume, con sistema Rullo a Rullo e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione ed etching ad esempio di bobine di tessuti, fogli di plastica e di altra natura ecc.).



Sistema plasma speciale Tetra-575-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.150 mm, A 1.900 mm, P 1.600 mm
Vuoto della camera:
L 600 mm, A 1.200 mm, P 800 mm
Volume della camera
ca. 575 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
1 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz) Sistema di caricamento:
fino a 22 vassoi (variabili)
Sistema di controllo:
PC-Steuerung (Windows)

Il sistema da produzione Tetra-575-LF-PC, con il suo reattore da 575 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-575-LF-PC, con il suo reattore da 575 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-600-LF-PC Versione 1


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.200 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
L 1.000 mm, A 1.000 mm, P 600 mm
Volume della camera
ca. 600 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
2 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di caricamento:
fino a 11 vassoi
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-600-LF-PC Versione 2


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.800 mm, A 1.800 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
L 580 mm, A 730 mm, P 1.000 mm,
Portello con 2 oblò
Volume della camera
ca. 600 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
1 pezzi 40 kHz, adattamento di impedenza automatica
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-600-LF-PC con la versione a tamburo rotante 1


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.200 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
Ø 1.100 mm, P 700 mm
Volume della camera
ca. 600 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
2 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di caricamento:
Tamburo rotante (con 4 cesti per 30 litri)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume, con controllo basato su PC e con tamburo rotante viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume, con controllo basato su PC e con tamburo rotante viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-600-LF-PC con la versione a tamburo rotante 2


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.000 mm, A 2.200 mm, P 1.800 mm
Vuoto della camera:
Ø 1.000 mm, P 750 mm,
Portello con 2 oblò
Volume della camera
ca. 600 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
4 pezzi (ognuno da 40 kHz)
adattamento di impedenza automatica
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume, con controllo basato su PC e con tamburo rotante  viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

 Il sistema da produzione Tetra-600-LF-PC, con il suo reattore da 600 litri di volume, con controllo basato su PC e con tamburo rotante viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-2.000-RF-PC


Dati tecnici:

Vuoto della camera:
L 1.000 mm, A 2.000 mm, P 1.000 mm
Volume della camera
ca. 2.000 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
1 pezzi (13,56 MHz)
Sistema di caricamento:
fino a 10 vassoi
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-2.000-LF-PC, con il suo reattore da 2.000 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-2.000-LF-PC, con il suo reattore da 2.000 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-2400-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 600 mm, A 2.200 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
Ø 1.100 mm, P 2.500 mm
Volume della camera
ca. 2.400 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
4 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di caricamento:
Tamburo rotante (con 16 cesti per 30 litri)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-2.400-LF-PC, con il suo reattore da 2.400 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-2.400-LF-PC, con il suo reattore da 2.000 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-2800-LF


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L600 mm, A 1.700 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
Ø 1.200 mm, P 2.500 mm
Volume della camera
ca. 2.800 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
1 pezzi (40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-2.800-LF-PC, con il suo reattore da 2.800 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-2.800-LF-PC, con il suo reattore da 2.800 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-4400-LF-PC:


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.800 mm, A 1.000 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
L 1.350 mm, A 2.600 mm, P 1.250 mm
Volume della camera
ca. 4.400 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
4 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale
Caratteristiche:
generatore di ossigeno, generatore di plasma per la pulizia delle pompe Roots

Il sistema da produzione Tetra-4.400-LF-PC, con il suo reattore da 4.400 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-4.400-LF-PC, con il suo reattore da 4.400 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-5600-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.800 mm, A 2.200 mm, P 1.800 mm
Vuoto della camera:
L 2.250 mm, A 2.450 mm, P 1.000 mm
Volume della camera
ca. 5.600 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
6 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di caricamento:
Riempimento tramite carrelli
(Opzionale: tamburo speciale)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-5.600-LF-PC, con il suo reattore da 5.600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-5.600-LF-PC, con il suo reattore da 5.600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-7000-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 2.400 mm, A 2.300 mm, P 1.000 mm
Vuoto della camera:
L 2.400 mm, A 2.100 mm, P 1.400 mm
Volume della camera
ca. 7.000 litri
Alimentazione gas:
3 canali gas con MFCs
Generatore:
4 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra -7.000 -LF -PC, con il suo reattore da 7.000 litri di volume, con sistema Rullo a Rullo e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione, etching e coating).

Il sistema da produzione Tetra -7.000 -LF -PC, con il suo reattore da 7.000 litri di volume, con sistema Rullo a Rullo e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione, etching e coating).



Sistema plasma speciale Tetra-7500-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 3.000 mm, A 2.000 mm, P 1.000 mm
Vuoto della camera:
L 1.500 mm, A 2.500 mm, P 2.000 mm
Volume della camera
ca. 7.500 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
6 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-2.800-LF-PC, con il suo reattore da 2.800 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-2.800-LF-PC, con il suo reattore da 2.800 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-8000-LF-PC



Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 2.000 mm, A 1.800 mm, P 1.000 mm
Vuoto della camera:
L 1.700 mm, A 1.700 mm, P 2.800 mm, A 1.700 mm
Volume della camera
ca. 8.000 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
4 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra-2.800-LF-PC, con il suo reattore da 2.800 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).

Il sistema da produzione Tetra-2.800-LF-PC, con il suo reattore da 2.800 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia, attivazione e etchng).



Sistema plasma speciale Tetra-12.600-LF-PC


Dati tecnici:

Quadro elettrico:
L 1.200 mm, A 2.200 mm, P 800 mm
Vuoto della camera:
L 2.400 mm, A 2.100 mm, P 2.500 mm
Volume della camera
ca. 12.600 litri
Alimentazione gas:
2 canali gas con MFCs
Generatore:
6 pezzi (ognuno da 40 kHz)
(Opzionale: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Sistema di caricamento:
Riempimento tramite carrelli
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows) con fieldbus industriale

Il sistema da produzione Tetra -12600, con il suo reattore da 12.600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia e attivazione).

Il sistema da produzione Tetra -12600, con il suo reattore da 12.600 litri di volume e con controllo basato su PC, viene utilizzato per la produzione di serie (pulizia e attivazione).


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