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Caratteristiche tecniche:
Plasma etcher Tetra-100-LF-PC
Quadro elettrico:
largh. 600 mm, alt. 2.200 mm, prof. 800 mm
Camera:
W 400 mm, D 625 mm, H 400 mm
Volume della camera:
ca. 100 litri
Alimentazione gas:
max. 3 canali gas ciascuno con MFC
Generatore:
40kHz/0-2500 W
(Optional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
Pompa per vuoto:
Leybold, Tipo D40B (40 m³/h)
Sistema di caricamento:
fino a 10 vassoi
(Optional: tamburo rotativo)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows)
Optional / accessori
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Plasma system TETRA-100-LF-PC per: pulizia, attivazione, etching
Sistemi TETRA con sei vassoi e tamburo rotativo. |
