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Caratteristiche tecniche:
Plasma etcher Tetra-150-LF-PC
Quadro elettrico:
largh. 1000 mm, alt. 2.200 mm, prof. 1000 mm
Camera:
largh. 400 mm, alt. 625 mm, prof. 600 mm
Volume della camera:
approx. 150 litres
Alimentazione gas:
max. 2 canali gas con MFC
Generatore:
40kHz/0-2500 W
(Optional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
Pompa per vuoto:
Leybold, Tipo D65B (65 m³/h)
Sistema di caricamento:
fino a 16 vassoi
(Optional: tamburo rotativo)
Sistema di controllo:
Controllo PC (Windows)
Optional / accessori
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Plasma system TETRA-150-LF-PC per: pulizia, attivazione, etching, produzione
Sistemi TETRA con sei vassoi e tamburo rotativo. |
